1月19上午，清华大学徐宏副教授应邀到访化学工程与技术学院，并作了题为“金属氧化物纳米颗粒型极紫外光刻胶研究进展”的学术报告。报告由化学工程与技术学院科研副院长武春瑞主持，化学工程与技术学院、环境科学与工程学院、化学学院的师生参加了此次报告会。
徐宏副教授聚焦极紫外（EUV）光刻这一半导体先进制程关键技术，系统介绍了其团队在新型光刻胶材料领域的创新研究成果。针对传统光刻胶在光子利用率与分辨率方面存在的瓶颈，他从化学视角出发，介绍了团队在纳米颗粒型光刻胶成膜机制及颗粒间相互作用调控方面的研究进展。在光刻性能开发上，基于纳米颗粒的低极性特性，通过曝光前高效的电荷屏蔽与曝光后有效的去屏蔽效应，成功构建出高灵敏度光刻胶体系。此外，针对二次电子扩散引发的残胶缺陷问题，采用活性物种扩散抑制策略，显著提升了极紫外、电子束等高能光刻技术的线条分辨率。
徐宏副教授的报告内容紧扣前沿、深入浅出，激发了现场师生的浓厚兴趣。在交流环节，与会师生就纳米颗粒的精准合成、光刻胶性能的平衡优化等关键问题，与徐宏副教授进行了热烈而深入的讨论。徐宏副教授对提问给予了细致专业的解答，并表达了与我校相关团队在光刻材料、纳米化学等交叉领域进一步开展合作与交流的意愿。
徐宏，清华大学副教授，主要从事有机/无机纳米材料、极紫外光刻材料、多孔材料及计算化学等领域的研究，在Nature Chemistry、Nature Materials、Nature Nanotechnology、Nature Communications、JACS、Angewandte Chemie等国际权威期刊发表论文150余篇，引用14000余次，H指数55。
（审稿：化学工程与技术学院 陈继荣 桂建舟 编辑：党委宣传部 胡敏）
图片来源：化学工程与技术学院